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    光谱共焦关于晶圆薄膜厚度测量

    发布时间:2022-11-01 浏览:129次 责任编辑:立仪科技

    如下图所示:要求测量黄色晶圆薄膜的厚度

     

    通过了解客户的需求知道测量薄膜精度要求μm级别,根据客户要求及产品观察技术人员选用,D15A32搭配H4UO三分之一量程控制器,D15A32具有超小的光斑尺寸,带来更高的线性精度和更高的分辨率,适合测量对分辨率高的粗糙度。

     

     

    通过扫描测量可以看出其薄膜厚度13.914μm

    (重复精度)

    深圳立仪科技自2014年成立,至今8年时间,专业生产研发光谱共焦位移传感器,经过8年不断其产品重复精度可达10nm级别,最薄可测8μm,测量角度可达±60°。


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